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【文章】 硅单晶超声清洗机的清理技术性
超声清洗机在半导体材料电子器件的制取全过程中,每个全过程都涉及到清除,清除的品质立刻损害到下个全过程,乃至损害机械设备的总产值和高xiao率性。 因为ULSI响应时间的迅速提升和机械设备型号规格的减少,对集成ic表面的环境污染规定更为严苛。ULSI技术性尽量吸咐不超过500平米/平…
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